レンズ各種

★レーザー干渉計用の基準レンズ（参照レンズ）
東明技研製レーザー干渉計（アキオン）、及び各社レーザー干渉計と互換性のある
４inch(Φ100mm)、及びΦ60測定口径に対応したλ/20の高精度基準レンズ（参照レンズ）を提供しております。
透過球面（TS)は集光タイプ（CON）だけでなく発散タイプ（DIV）、更に透過平面(TF)は高反射率対応の減衰板付TFなど、多種の基準レンズ（参照レンズ）、及基準平面（参照平面）のラインナップを揃えており、非常に広範囲の口径/曲率半径のレンズ、平面ガラス、反射ミラー、ウェハー等の高精度な面精度測定が可能です。

　　【略称表記について】
　　　※透過球面＝TS （Transmission Spherical surface）
　　　※透過平面＝TF （Transmission Flat surface）
　　　※集光=CON（Convergence）・発散=DIV (Divergence)

★各種研磨加工製品
λ/20の高精度のガラス平面、レンズ、ミラーを提供しております。
オーダーメードにも対応しておりますのでご相談ください。

4インチ集光レンズ

レンズ各種

4インチ TS CON F0.77 R47

レンズ各種

4インチ TS CON F1.5 R120

レンズ各種

4インチ TS CON F2.2 R200

レンズ各種

4インチ TS CON F3.3 R29

（※）その他多くの４インチ集光レンズを揃えております。「基準レンズ　リスト一覧」をご参照ください。
（※）２ピン取付け方式の他社製４inch干渉計にも搭載可能

Φ60mm集光レンズ

レンズ各種

Φ60 TS CON R400

レンズ各種

Φ60 TS CON R700

レンズ各種

Φ60 TS CON R1000

レンズ各種

Φ60 TS CON R1414

（※）その他多くのΦ60mm集光レンズを揃えております。「基準レンズ　リスト一覧」をご参照ください。
（※）オプションの『４inch→Φ60アダプター』を使用することで、AK-100ZFシリーズに搭載可能
（※）ネジ込み（M76 ピッチ2）方式の他社製Φ60干渉計にも搭載可能

Φ60mm発散レンズ

レンズ各種

Φ60 TS DIV R300

レンズ各種

Φ60 TS DIV R400

（※）その他多くのΦ60mm発散レンズを揃えております。「基準レンズ　リスト一覧」をご参照ください。
（※）オプションの『４inch→Φ60アダプター』を使用することで、AK-100ZFシリーズに搭載可能
（※）ネジ込み（M76 ピッチ2）方式の他社製Φ60干渉計にも搭載可能

基準平面

レンズ各種
4インチ TF λ/20

レンズ各種
6インチ TF λ/20

（※）ミラーなどの高反射率測定用の減衰板付き基準平面も揃えております。「基準レンズ　リスト一覧」をご参照ください。

コンバータレンズ

レンズ各種
コンバーターレンズ
Φ60-20(mm)

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基準レンズ（参照レンズ）　リスト一覧

多種の基準面ラインナップを揃えており、非常に広範囲の口径/曲率半径のレンズ、平面ガラス、反射ミラーの面精度評価が可能です。

入射口径Φ	型番	Fナンバー	出射光束	参照面 R(mm)	出射口径 ΦD(mm)	凸測定範囲		凹測定範囲
入射口径Φ	型番	Fナンバー	出射光束	参照面 R(mm)	出射口径 ΦD(mm)	曲率半径 (mm)	最大口径 (mm)	曲率半径 (mm)	最大口径 (mm)
4ｲﾝﾁ (Φ100mm)	TF（基準平面）	―	平行	∞	100.0	∞	100	∞	100
	TS-CON-F0.77	0.77	集束	47.56	62.0	0-47	62	0-150	200
	TS-CON-F1.0	1	集束	80	78.0	0-80	78	0-200	200
	TS-CON-F1.3 (※)	1.3	集束	104	80.0	0-104	80	-	-
	TS-CON-F1.5	1.5	集束	120.35	82.0	0-120	82	-	-
	TS-CON-F1.8	1.8	集束	160	89.0	0-160	89	-	-
	TS-CON-F2.2	2.2	集束	195	88.3	0-195	55	-	-
	TS-CON-F3.3	3.3	集束	299.9	97.0	0-299	97	-	-
	TS-CON-F4.4 (※)	4.4	集束	440	99.0	0-440	99	-	-
	TS-CON-F5.0	5.0	集束	470	94.0	0-470	94	-	-
	TS-CON-F6.0 (※)	6.0	集束	577	96.0	0-577	96	-	-
	TS-CON-F7.2	7.2	集束	680	94	0-680	94	-	-
	TS-CON-F11	11	集束	1086	98.8	0-1086	98	-	-
	TS-CON-F15	15	集束	1517	98.8	0-1517	98	-	-
	TS-CON-F25	25	集束	2450	99.1	0-2450	99	-	-
Φ60mm	TF（基準平面）	―	平行	∞	60.0	∞	60	∞	60
	TF（減衰板付平面）	―	平行	∞	60.0	∞	60	∞	60
	TS-CON-R400	6.7	集束	400	60.0	0-400	60	0-90	150
	TS-CON-R500	8.3	集束	500	60.0	0-500	60	0-105	150
	TS-CON-R700	12	集束	700	58.0	0-700	58	0-150	150
	TS-CON-R1000	17	集束	1000	58.0	0-1000	58	0-210	150
	TS-CON-R1200	20	集束	1200	60.0	0-1200	60	0-300	150
	TS-CON-R1414	23.5	集束	1414	60.0	0-1414	60	-	-
	TS-CON-R1700	29	集束	1700	59.0	0-1700	59	-	-
	TS-CON-R1900	31	集束	1900	60.0	0-1900	60	-	-
	TS-CON-R3000	50	集束	3000	60.0	0-3000	60	-	-
	TS-CON-R4050	67.5	集束	4050	60.0	0-4050	60	-	-
	TS-CON-R5100	85	集束	5100	60.0	0-5100	60	-	-
	TS-DIV-R200	3.3	発散	200	65.0	-	-	200-457	150
	TS-DIV-R300	4.7	発散	300	63.6	-	-	300-708	150
	TS-DIV-R400	6.4	発散	400	62.7	-	-	400-957	150
	TS-DIV-R600	9.6	発散	600	62.3	-	-	600-403	109
	TS-DIV-R700	12	発散	700	60.4	-	-	700-1150	99
	TS-DIV-R900	15	発散	900	61.2	-	-	900-1350	91
	TS-DIV-R1200	20	発散	1200	61.2	-	-	1200-1650	84
	TS-DIV-R1580	26	発散	1580	60.8	-	-	1580-2030	78
	TS-DIV-R1800	30	発散	1800	61.3	-	-	1800-2250	76
	TS-DIV-R2200 (※)	37	発散	2200	60.0	-	-	2200-2650	72
	TS-DIV-R2600	43	発散	2600	60.4	-	-	2600-3050	70
	TS-DIV-R3000	50	発散	3000	61.2	-	-	3000-3450	70
	TS-DIV-R3400	57	発散	3400	60.4	-	-	3400-3850	68

（※） TS-CON-F1.3、TS-CON-F6.0 、及びTS-DIV-R2200はオーダーメード品のため、製作の際は事前にご相談させてください。
（※）測定範囲はAkion干渉計AK-100ZF標準スタンド（ストローク：600mm)ご使用時のおおよその目安で記載しています
（※）上記のラインナップにない基準レンズ（TS,TF）をご要望の場合は別途ご相談ください
（※） Φ60基準レンズ（TS,TF）をご使用の際は別売の「4inch→Φ60変換アダプター」をご使用ください
（※）曲率半径ゼロ付近でご使用の場合は別途ご相談ください
（※）非球面測定用の基準CGH(Computer-Generated Hologram 計算機生成ホログラム)をご要望の場合は別途ご相談ください
（※）【略称表記について】
　　　透過球面＝TS （Transmission Spherical surface）
　　　透過平面＝TF （Transmission Flat surface）
　　　集光=CON（Convergence）・発散=DIV (Divergence)

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（※） 4-inch基準レンズ選定グラフは、Akion干渉計AK-100ZF標準スタンド（ストローク：600mm)ご使用時のおおよその目安で記載しています。
　　　ご使用レーザー干渉計、被測定レンズの曲率半径、レンズ有効径などの情報をいただければ適性の基準レンズをご紹介いたします。